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形態観察

  1. 形態観察

冷却イオンミリング（クロスセクションポリッシャ）装置による試料断面調製

　イオンビームを試料に照射し、凹凸の少ない断面を加工します。熱に弱い高分子材料でも液体窒素で冷却することで、イオンビームによる熱ダメージを軽減することが可能です。

■ 冷却イオンミリング断面調製事例
  • 機械加工で変形してしまう材料（軟質材料、薄膜）
  • 積層材料
  • 金属材料
  • 研磨できない高分子/金属複合材料
例　＜冷却イオンミリング加工を施したプリペイドカード（積層材料）断面のSEM観察＞
  • 機械加工
    機械加工
  • -120°Cイオンミリング加工
    -120°Cイオンミリング加工

冷却イオンミリング加工で良質な断面を調製することで、刃物による切断や研磨では変形してしまい確認できなかった層構造や空隙を観察できます。