半導体〜絶縁体領域(101〜1016 Ω)の材料における電気の通しにくさ(電気抵抗)を評価します。
(導体〜半導体は4探針電極法、半導体は平行端子電極法を参照)
抵抗率が広範囲にわたる、半導電材料から絶縁材料の測定に適する二端子法を用いた測定方法です。材料に電極を設置し、電極に電圧を印加、その時の電流を測定します。電圧及び電流、試料寸法から抵抗率を求めます。
<対応規格>
・JIS K 6271-1「加硫ゴム及び熱可塑性ゴム−電気抵抗率の求め方−第1部:二重リング電極法」
・JIS K 6911「熱硬化性プラスチック一般試験方法」
・ASTM D 257「Standard Test Methods for DC Resistance or Conductance of Insulating Materials」 他
試験片(厚さ0.5 mm〜5.0 mm)の上下に電極を密着、固定させます。体積抵抗率測定の場合は主電極と対向電極間(リング電極はガード電極)、表面抵抗率測定の場合は主電極とリング電極間(対向電極はガード電極)に規定の電圧を印加し、規定時間(1分間)経過後の電流を測定します。得られた電流値から、次の計算式により体積抵抗率又は表面抵抗率を算出します。
体積抵抗率 ρv(Ω・m) | ![]() |
表面抵抗率 ρs(Ω) | ![]() |
Rv:体積抵抗(Ω) Rs:表面抵抗(Ω) A:主電極の有効面積(m2)・・・フリンジング効果を考慮した面積を用いる D1:主電極の外径(m) D2:リング電極の内径(m) h:試験片の厚さ(m) V:印加電圧(V) Iv:体積抵抗測定時の電流(A) Is:表面抵抗測定時の電流(A) |
電流測定範囲 :1 fA 〜 19.9999 mA
抵抗測定範囲 :10 Ω 〜 3×1017 Ω
直流電源発生範囲 :±1000 V
スイープを含むシーケンス・プログラム機能あり
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図1 試験機外観 | 図2 標準二重リング電極 |
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図3 二重リング電極の形状例 |
形状の異なる電極(金属製)も複数所有しています。導電性塗料や導電性テープを用いた試験片上への電極形成も対応可能です。
標準状態以外の測定雰囲気(高温環境)下を含め、お客様のご要望に応じて様々な条件での評価も可能です。また、原材料からの試験片成形、製品試料から切削加工による試験片作製も対応しています。
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