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材料物性

抵抗特性試験 − ４探針電極法(４探針法)

導体〜半導体領域（10^-3〜10⁷ Ω）の材料における電気の通しにくさ（電気抵抗）を評価します。
(半導体〜絶縁体は二重リング電極法、半導体は平行端子電極法を参照)

・概要

　四端子法と同等の原理を用い、材料への電極作製が不要で様々な形のまま測定可能といった特徴をもつ４探針法を用いた測定方法です。４本の針状電極を材料表面に設置し、電流と電圧を測定します。電流及び電圧、試料寸法、補正係数から抵抗率を求めます。

・試験詳細

＜対応規格＞
・JIS K 7194「導電性プラスチックの４探針法による抵抗率試験方法」

　試験片（標準寸法80 mm×50 mm×厚さ20 mm以下）に４本の針状電極を有するプローブを設置し、外側2本の針状電極に一定電流を流し、内側2本の針状電極で電位差を測定します。測定位置により規定される補正係数及び得られた電位差より求められる抵抗から次の計算式により抵抗率を算出します。

抵抗率 ρ(Ω･cm)
	F:補正係数　t:試験片の厚さ(cm)　 R:抵抗(Ω)

標準寸法以外又は標準測定位置以外の場合は補正係数を計算により別途算出します。

・試験機仕様

試験機名称　　　　：(株)三菱化学アナリテック製　低抵抗計ロレスターGP　MCP-T610
電極装置　　　　　：(株)エーディーシー製　4探針プローブ（6種から用途により選択）

図1 試験機外観	図2 電極（標準プローブ）外観

 

4探針プローブ

標準プローブ	不均一サンプル用	柔らかいサンプル用
JIS K 7194対応 ピン間　5 mm　 ピン先　Φ0.37 mm ばね圧　210 g	ピン間　5 mm ピン先　Φ2.0 mm ばね圧　240 g	ピン間　5 mm ピン先　Φ2.0 mm(球形) ばね圧　130 g
小さいサンプル用(薄膜用)	極小サンプル用	大きいサンプル用
ピン間　1.5 mm ピン先　Φ0.26 mm ばね圧　70 g	ピン間　1.5 mm ピン先　Φ0.26 mm ばね圧　70 g	ピン間　2.2 mm ピン先　Φ0.37 mm ばね圧　210 g

（カタログより抜粋）

 

　その他、お客様のご要望に応じて試験規格とは異なる条件での評価も可能です。また、原材料からの試験片成形、製品試料から切削加工による試験片作製も対応しています。
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