高分子材料の変色や接着低下、剥離などの不具合は表面や界面で起こる現象です。また、高分子材料の劣化は、基本的に熱・光などの外的因子の影響で表面から内部へと進行するため材料の表面状態を把握することは劣化挙動を知るうえで重要です。また、工業製品を構成する部品は、単一材料だけでなく、表面処理品、積層膜などの複合材料が多く用いられています。そのため、高分子材料だけではなく金属やガラスなど表面、局所分析が多岐にわたる分野で用いられています。
以下の装置により、固体材料表面、界面、局所の形態、構成元素、元素組成、元素分布、元素の結合状態、モルホロジー、粘弾性特性などを評価することが可能です。