形態観察(デジタルマイクロスコープ)

SEMほどの高倍率観察はできませんが、試料の色や外観情報をそのまま取得できる特徴があります。前処理を工夫することで樹脂の流動状態を可視化でき、表面観察や欠陥解析、形態評価に有効な観察手法です。


CCDカメラを搭載し、観察対象をモニターに映し出して観察する顕微鏡で、実体顕微鏡よりも高倍率な観察が可能です。SEM(走査電子顕微鏡)ほどの高倍率観察は不可能ですが、SEMでは得られない色に関する情報を得られるため、異物分析や不具合原因調査において最初に使用される必須の装置です。

デジタルマイクロスコープによる試料外観の観察例

デジタルマイクロスコープにより、非破壊で試料の不具合の状態、異物等の微小物体の形状、寸法、色、試料表面の凹凸像を観察することができます(図1、図2)。

図1 オゾン劣化後NBRの表面拡大写真
図2 フィルター上の異物の拡大写真

デジタルマイクロスコープによる樹脂の流動状態の可視化例

前処理を工夫することで、デジタルマイクロスコープを用いて樹脂の流動状態を可視化することができます。樹脂の流動状態を可視化することで、破損の起点となりえるウェルドラインの位置の特定や、ボイドの分布状態の評価が可能となります(図3、図4)。

図3 結束バンドの樹脂流動状態の観察写真
図4 樹脂製のふたの樹脂流動状態の観察写真
担当部門:高分子技術部門

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