FE-SEM(電界放出形走査電子顕微鏡/Field Emission Scanning Electron Microscope)
電子電界放出を利用した、微細に絞った輝度の極めて高い電子線により試料表面を走査し、試料から発生する二次電子や反射電子などを検出することで、試料形態を高解像度、高倍率(~650,000倍)で観察することができる装置です。

観察例:カーボンブラックの形態観察(図1)、中空糸膜の形態観察(図2)

図1 カーボンブラック(FT)

図2 中空糸膜(Osコーティング有り)
電子電界放出を利用した、微細に絞った輝度の極めて高い電子線により試料表面を走査し、試料から発生する二次電子や反射電子などを検出することで、試料形態を高解像度、高倍率(~650,000倍)で観察することができる装置です。



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